簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "流場可視化".ckeyword (精準) and year="107"


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    以流場可視化方法探討化學機械拋光製程中 拋光液流動行為與濃度分佈
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 陳逸翔 指導教授: 田維欣
    • 化學機械平坦化 (Chemical-Mechanical Planarization/Polishing, CMP)為半導體製造製程之一,隨著線寬持續往奈米等級發展,每層電路的平坦度變的格外重要,C…
    • 點閱:294下載:11

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    由單一不對稱三角形結構誘發之聲射流流場分析
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 林孟樺 指導教授: 田維欣
    • 聲射流(Acoustic Streaming)是一種經由高頻率振盪下在流體與邊界交互作用產生的穩態流動現象。本文使用微型微粒循跡測速儀(Micro Particle Tracking Velocim…
    • 點閱:349下載:6
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